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方案概述

制絨刻蝕上下料機(jī)是對(duì)要經(jīng)過(guò)制絨工藝的硅片進(jìn)行上下轉(zhuǎn)移的裝置。

禾川方案

  • 裝卸一體

    將花籃里硅片搬運(yùn)輸送上料到制絨/刻蝕工藝主機(jī);將經(jīng)刻蝕或制絨工藝后的硅片轉(zhuǎn)移裝入到硅片花籃
  • 高可靠性

    通過(guò)X3EB EtherCat伺服,運(yùn)行動(dòng)作高速輕柔,實(shí)現(xiàn)高精度定位